浙江六方半导体科技有限公司成立于2018年,位于诸暨经济开发区,系一家专注于半导体新材料研发及生产的企业,为半导体关键上道工艺(长晶、外延、刻蚀等)提供半导体涂层产品,主要产品为 LED 芯片外延用 SiC 涂层基座、化合物半导体涂层组件、硅单晶外延基座、新一代光伏用涂层部件等。公司由前中科院教授引领的一支具备关键设备研发-涂层工艺研发的团队组成,拥有全链条的研发和量产能力,且与甬江实验联合成立了热场材料中心加持,已实现了 卡脖子技术 突破。
公司目前主营产品为碳化硅涂层石墨外延托盘,包括第三代半导体SiC外延托盘,LED芯片外延用SiC涂层石墨外延托盘、硅单晶外延用碳化硅涂层石墨外延托盘等。